【摘 要】本文從生產角度闡述了彩色濾光片(簡稱彩膜CF)一個很重要的工序-涂布制程中所容易產生的一種Mura缺陷,通過缺陷分析,色度膜厚測量做對比等多種手法,明確說明了不良Mura所發生的原因,并通過多組實驗作對比,得出了控制涂布Mura的最佳方法。
【關鍵詞】Mura缺陷,彩色濾光片,Nozzle堵塞
前言
目前,平板顯示已經成為顯示產業的主角,其中最成功應用最廣泛的當屬TFT-LCD,它已廣泛地使用在筆記本電腦、手機、顯示器和電視等和人類生活相關的各類電子產品上;它具有功耗低、外形薄、重量輕等特征,而彩色濾光片是液晶顯示器件的重要組成部件,占TFT-LCD所有制造成本的20%以上,高品質的彩色濾光片對TFT-LCD的色彩表現具有決定性的影響,所以保證彩色濾光片的合格率關系到公司的競爭力和利益。本文通過多年來CF生產制造經驗,總結出涂布過程中易產生的一種常見不良Mura,通過多次實驗,提出了有效的改善方案,提升彩色濾光片生產的合格率。
一. 涂布Mura
在CF制造過程中,黃光的每道工序(一般有BM/R/G/B/PS)都涉及到涂布工序,它的作用是將光阻均勻的涂到基板上去(如圖1所示)。
玻璃基板在B線涂布過后,有時會存在線Mura檢測機臺的檢查發現沿著玻璃長邊方向出現一道寬度均等的Mura,不良為Glass共通Mura,如有出現均是批量性不良,該不良嚴重影響產品的合格率,對公司的成本造成很大損害。
二. 調查與實驗
(一)原因調查
由于Mura檢查機臺在線體分布在涂布工序之后(如圖2所示),所以檢查出不良Mura后,往前道機臺推理,發現不良Mura的方向與基板涂布方向一致,推測可能為Nozzle 堵塞,造成涂布時光阻不均勻,從而產生涂布Mura。
(二)不良分析
針對不良品進行特性分析,用色度機對Mura區特性測量,結果:mura區B畫素(Y,x,y)較正常區明顯偏大,具體見圖3,由特性得出不良Mura是由B制程產生,由特性可以看出不良區的膜厚偏薄。
(三)實驗驗證
a. 在Mura檢查機發生不良Mura后,針對B涂布機的Nozzle 用無塵布進行擦拭清潔,擦拭后流片確認,不良Mura任然繼續存在。
b. 繼續清潔Nozzle ,用刮片對Nozzle內部清潔,發現Nozzle里有輕微堵塞現象,量測位置發現和不良Mura位置相符,疏通Nozzle 后,流片確認發現不良Mura任然存在,但程度已有所變輕。
c. 拆解Nozzle ,發現不良Mura位置對應的Nozzle處,有光阻已凝結,導致堵塞,清潔后裝上流片確認,不良Mura消失。
三. 結論
通過以上分析和實驗得出,光阻凝結導致Nozzle堵塞,是產生玻璃長邊方向不良Mura的根本原因。而導致光阻凝結的原因是Nozzle長時間沒有清潔,后續根據大量流片確認,多次實驗結果,得出目前生產的光阻每班(12小時)清潔Nozzle一次,包含擦、刮等動作,從而可以保證Nozzle不會堵塞;后續如更換光阻,還需進一步實驗。
參考文獻:
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[2] 王銀春, TFT-LCD生產中彩色濾光片引起的不良分析及改善
作者簡介:
高廣修(1983-),男,南京中電熊貓液晶材料科技有限公司工程師,主要從事CF生產的技術管理和生產管理工作。