為“中國芯”保駕護航

超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業不可替代的關鍵電子化學品之一，其關鍵技術和核心裝備長期被國外企業所壟斷，嚴重制約著我國芯片產業的健康可持續發展，是亟待攻克的“卡脖子”技術。

興發集團從2006年開始，與中國科學院過程工程研究所、武漢工程大學和集團旗下湖北興福電子材料有限公司合作，經過10多年研究攻關，自主研發出高純黃磷與電子級磷酸制備的關鍵技術，打破了超高純電子級磷酸產品的進口依賴，實現了高選擇性蝕刻液的自主制備，芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術也因此獲得了2019年國家科技進步二等獎。

超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液項目的實施，打破了國外企業對超高純電子級磷酸生產的技術壟斷，實現了芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的自主化制備，形成了我國芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液制備的完全自主知識產權。