離子注入
- N離子不同注入能量對鎂合金表面鈦膜性能的影響
行化學轉化、離子注入等，可以提升其耐腐蝕和耐摩擦性能。肖澤輝等［2］對鎂合金表面進行激光處理，改變了表面合金成分，細化了表面晶粒，從而提高了合金的耐腐蝕和耐摩擦性能。譚雪霏等［3］對AZ3l 鎂合金表面進行鈦離子注入試驗，結果表明，經過鈦離子注入之后，鎂合金表面硬度有所提高，但是鎂合金改性層摩擦因數并沒有降低，耐摩擦性能有所提高。劉洪喜等［4］在AZ31 鎂合金基體的表面進行N、Ti 離子注入試驗，發現經過處理后的鎂合金表層顯微硬度提高了近50%。Zhu
河南科技 2023年16期2023-10-10
- 氮離子注入對金蓮花種子發芽率及幼苗生理特性的影響
品種［9］。離子注入裝置的示意圖如圖1 所示。與傳統的X、γ 射線等輻射技術相比，離子束誘變具有作用效應局部、可控［10］、損傷輕、存活率和突變率高等特點［11-12］，已越來越多地應用于谷物［13］、經濟作物［14］、花卉［15］等植物的誘變育種。圖1 離子注入裝置示意圖Fig.1 Schematic diagram of ion implantation machine前人研究表明，一定劑量的離子注入可刺激植物的生長發育。例如，張紅等［16］研究發現，
核農學報 2023年10期2023-09-06
- 離子注入劑量對鎂合金表面鈦膜的性能影響
化、離子鍍、離子注入、激光表面處理等方法［2］。王成龍等［3］提出采用真空多弧離子鍍膜技術對鎂及鎂合金的表面進行防護，結果顯示制備的多層膜擁有良好的摩擦耐蝕性能。林波等［4］采用單離子注入和雙離子注入的方法對AZ91鎂合金進行試驗，發現經不同離子注入后試樣表面形成了AlN、Cr和CrN等新的物相，試樣的腐蝕電位較基體和試樣顯微硬度都有所提高。陶學偉等［5］通過注入Ti、N、Cr、Al離子發現，Ti、N單離子注入后鎂合金表面硬度提高最為明顯。任志華等［6］利
河南科技 2023年4期2023-03-13
- 180 nm 嵌入式閃存工藝中高壓NMOS器件工藝加固技術
STI）場區離子注入工藝對180 nm 嵌入式閃存工藝中的高壓NMOS 器件進行加固,實驗結果表明該加固器件存在兩個主要問題: 1)淺槽刻蝕后進行離子注入,后續熱工藝較多,存在顯著的雜質再分布效應,導致STI 側壁離子濃度降低,經過1×105 rad (1 rad=10–2 Gy)(Si)輻照后,器件因漏電流增大而無法關斷;2)加固離子注入降低了漏區PN 結擊穿電壓,不能滿足實際應用需求.為解決上述問題,本文提出了一種新型部分溝道離子注入加固方案.該方案調
物理學報 2022年23期2022-12-14
- N離子注入改善2195鋁鋰合金的耐磨和腐蝕性能
耐腐蝕性能。離子注入技術使離子與材料表面發生相互作用，導致材料表面的成分、結構和性能會發生變化，使得表面性能變得更好［10-12］。Savaloni等［13］發現氮離子注入鋁合金后可以通過降低腐蝕速率和增加疲勞循環次數來提高耐腐蝕性能。陳勇忠等［14］將氮離子注入鋁的表面，離子注入劑量增大到一定程度，鋁的表面會有AlN出現，這將加強鋁表面的耐腐蝕性。郭紅偉等［15］采用滲氮工藝提升了不銹鋼基體的耐磨性能。離子注入技術是提高合金表面性能的有效手段，本文對21
電鍍與精飾 2022年11期2022-11-15
- 碳離子注入金剛石制備氮空位色心的機理*
方法,低能碳離子注入具有要求金剛石純度低、不引入新的雜質原子等優點,但其氮空位色心的形成機理尚不明確.本文采用低能碳離子注入和真空退火工藝在金剛石淺表層創建氮空位色心,并通過拉曼光譜、X 射線光電子能譜以及正電子湮沒分析,揭示了碳離子注入金剛石制備氮空位色心的機理.結果表明: 碳離子注入金剛石在950 ℃真空退火后呈現出顯著的氮空位色心發光.碳離子注入后金剛石淺表層表現出晶格畸變與非晶碳的損傷區,并產生了碳-空位簇缺陷(包裹碳原子的空位簇).在真空退火過程
物理學報 2022年18期2022-09-30
- Eu3+離子注入β-Ga2O3單晶的應力變化和發光性質研究
大的挑戰性。離子注入不受離子固溶度的限制，而且可以根據需要進行選區摻雜，從而受到了研究者的重視。目前，關于Eu3+離子注入β-Ga2O3單晶的研究還比較少，特別在離子注入后造成的結構應力變化，以及缺陷影響稀土離子發光性能方面仍相對比較欠缺，因此需要進一步探究。本文采用離子注入法，將不同劑量的Eu3+離子注入到β-Ga2O3單晶中，然后在空氣中進行退火處理。通過拉曼散射和X射線衍射研究了不同Eu3+離子注入劑量及退火前后對β-Ga2O3結構的變化。最后，利用
人工晶體學報 2022年4期2022-05-17
- Ni-C離子注入316L不銹鋼表面硬度與耐蝕性能的研究
[16]采用離子注入手段，將碳元素注入到316L不銹鋼基體，其中，不銹鋼中鉻元素能夠提高其耐蝕性，C與Cr會由于強烈的化學親和力而反應生成復雜的碳化物，所以碳元素的存在會降低不銹鋼材料固溶體中的鉻元素含量。不銹鋼的耐蝕性會隨著碳元素含量的增加而降低，因為上述結論的前提條件時保持物相狀態的平衡，所以采用離子注入進行表面改性在很大程度上解決了這一問題，前面曾提到可以在非平衡狀態下使碳元素富集于不銹鋼表面。石墨材料的導電性優良而且化學惰性高，有研究表明，當碳元素
現代交通與冶金材料 2022年2期2022-03-29
- 基于全球離子注入機行業現狀探析中國離子注入機突破之路
1）0 引言離子注入決定著半導體芯片內部結構器件的最基礎性能，是集成電路制造工藝中十分重要的環節。離子注入環節是僅次于光刻工藝的重要環節，離子注入效果決定了芯片內部結構中器件的最基本、最核心性能。離子注入機在晶圓制造工藝設備市場規模中占比3%左右，據賽迪顧問統計，2020年離子注入機市場規模達18億美元，未來將達到30億～40億美元。離子注入機的市場高度集中，全球離子注入機主要被美國、日本企業壟斷。1 離子注入機原理及其產業鏈1.1 工作原理在集成電路制造
電子元器件與信息技術 2022年1期2022-03-26
- 離子注入技術在n型太陽電池中的應用研究
較多。本文將離子注入技術引入n-PERT電池制備過程中，離子注入技術較常規擴散技術具有摻雜均勻性好，可實現低濃度摻雜，提高光電轉換效率等優勢，同時將BBr3熱擴散和磷離子注入后的熱退火相結合，一步高溫過程同時完成發射極和背場摻雜，簡化工藝步驟，降低制造成本。本文主要研究內容有：第一，離子注入N-PERT的電池結構及制備過程。第二，分析離子注入技術對n-PERT太陽電池背場摻雜均勻性和電池參數的影響。1 樣品制備N-PERT電池是一種典型的雙面電池，如圖1所
科學與信息化 2021年17期2021-06-28
- 高效率N型離子注入太陽電池技術的研究
英葉 陳志軍離子注入技術已經成功的從IC(集成電路)制造中延伸到了太陽能池的制造過程中，并且成為N型單晶太陽能池的研究熱點。我們在電阻率為1-3Ω.cm的N型硅片基底上，采用離子注入技術工業化生產的太陽能電池的最高效率達到12.2%，平均轉化效率為20.9%。我們還進行了離子注入摻雜技術對方塊電阻的摻雜曲線、均勻性、及電池參數的影響研究。1 研究背景與內容高效率低成本是太陽能電池技術的發展方向，電池效率的提升將依賴于新材料，新結構，新工藝的建立。目前P型硅
電子世界 2021年6期2021-04-11
- 基于離子注入制備的InGaN橫向Micro-LED陣列
備手段當中，離子注入是一種常用的隔離工藝，具有大尺寸、重復性高、均勻性好和易于控制等適用于大規模工業化生產的優點，常用于氮化鎵基高遷移率晶體管[16]。也有研究人員將該方法用于垂直結構Micro-LED陣列的制備[17]，但暫沒有采用離子注入的新穎方法進行橫向結構超小尺寸Micro-LED陣列的制備研究。因而我們選擇在LED外延片上通過引入特定區域的高阻態以隔離出所需要的器件工作區域，從而實現基于離子注入隔離的微型發光二極管的制備。同時，常規ICP干法蝕刻
發光學報 2021年2期2021-03-05
- 離子注入對聚四氟乙烯覆銅板黏結性能的影響
。楊峰等將鎳離子注入PTFE 表面，使其表面接觸角由104°下降至67°，浸潤性提高[10]。國內對于特種環境用純PTFE 覆銅板的相關研究報道較少，基本沒有通過離子注入結合磁過濾等離子體沉積制備改性PTFE 覆銅板的報道。相比磁控濺射技術，磁過濾沉積技術所產生的等離子體具有更高的能量，有利于離子沉積，可以在基材表面沉積納米級的金屬薄膜[11]。與MEVVA離子注入技術相結合，可以使沉積膜的原子與基體原子混合，在界面上形成混合層，進一步改善膜與基體間的黏結
航天器環境工程 2020年2期2020-10-31
- 離子注入對紅小豆農藝性狀及產量的影響
本試驗擬通過離子注入誘變技術，加快旱地紅小豆新品種的選育，不斷優化紅小豆品種以達到農業生產中穩產、高產的目的。國內農業科研人員對紅小豆品種的選育、施肥量、施肥方式、栽培方式、除草劑的使用等進行了大量的研究[5-11]。關于離子注入對紅小豆產量因素的影響研究很少，離子注入處理種子技術是一項農業物理新技術，它具有一定的重復性和方向性的特點[12]。離子注入已被廣泛應用于作物品種的選育與改良[13-14]，紅小豆播種前用離子注入機對種子進行處理，目的是改變植株農
山西農業科學 2020年10期2020-10-16
- 離子注入技術在材料表面改性中的應用及研究進展
濤摘? 要：離子注入技術是在固體中引入摻雜劑離子的一種材料改性方法，它能有效改善材料的表面性能。本文分析了離子注入技術在材料表面改性中的應用及發展趨勢。關鍵詞：離子注入;表面改性;發展趨勢離子注入技術是通過加高電壓將工件（金屬、合金、陶瓷等）放入離子注入機的真空靶室中，將所需元素的離子注入工件表面的過程。離子注入后，在材料表層增加注入元素及輻照損傷，以使材料的物理化學性能發生顯著變化。一、離子注入技術的應用1、離子注入金屬材料。帶MEVVA（金屬蒸汽真空弧
科學導報·學術 2020年24期2020-07-10
- 氮化鎵中鉻含量的二次離子質譜分析方法研究
氮化鎵材料中離子注入Cr的濃度，使用相對靈敏度因子法對氮化鎵中Cr含量定量分析，為相關生產工藝和實驗研究提供參考。關鍵詞：氮化鎵;二次離子質譜;離子注入;相對靈敏度因子氮化鎵材料禁帶寬度較大，是寬禁帶半導體之一，被廣泛用作微波功率晶體管和藍色光發光器件的生產制造原材料。氮化鎵材料的探究與使用是目前全世界半導體領域的創新和重點，是制造微電子器件和光電子器件的新一代半導體材料，并與碳化硅等半導體材料一并被稱為是繼第一代硅、鍺半導體材料、第二代砷化鎵、磷化銦化合
科技風 2020年10期2020-04-10
- 基于離子注入隔離的微縮化發光二極管陣列性能*
09)基于F離子注入隔離技術實現一種新型微縮化發光二極管(micromicro-LED)陣列器件,并系統研究注入能量及發光孔徑對micro-LED陣列器光電性能的影響.研究結果表明:相比于F離子50 keV單次注入器件,50/100 keV兩次注入器件具有更好的光電性能,器件反向漏電降低8.4倍,光輸出功率密度提升1.3倍.同時,在不同的發光孔徑 (6,8,10 μm)條件下,器件反向漏電流均為 3.4×10–8 A,但正向工作電壓隨孔徑增大而減小,分別為
物理學報 2020年2期2020-02-18
- 低能N+離子注入誘變選育金耳多糖高產菌株的研究
的理想材料。離子注入微生物是通過離子注入誘變出發菌株，通過對目標性狀的生物效應分析，篩選獲得高產、高效的突變菌株[4]。此方法在金耳人工誘變育種中尚未見報道，筆者進行了低能氮離子注入誘變選育金耳的試驗，旨在為金耳選育提供參考。1 材料與方法1.1 供試材料供試金耳菌株:金耳酵母狀分生孢子菌株TA08，由江蘇省蘇微微生物研究有限公司分離得到，改良PDA培養基4℃保存。培養基:改良PDA培養基為馬鈴薯200 g煮汁，葡萄糖20 g，KH2PO41 g，MgSO
食用菌 2019年5期2019-10-08
- 離子注入紅蕓豆種子生物效應分析
30031）離子注入已被廣泛應用于作物品種的選育與改良[1-3]，它在植物育種和改良應用中表現出損傷輕、正突變率高、突變譜廣、有一定的重復性和方向性等特點[4]。紅蕓豆是我國的一種主要雜糧作物，主要分布在北方和西南高寒冷涼地區，種植面積較廣[5]，其中，山西省是我國紅蕓豆主產地之一。紅蕓豆為食用豆中普通菜豆矮生直立型的一個品種，營養價值和經濟價值較高，近年來種植面積逐步增加[5]。為提高紅蕓豆產量，國內科研人員已在品種、生長環境、栽培方式及施肥技術等方面進
山西農業科學 2019年6期2019-06-19
- 鍺(Ge)材料中砷(As)離子注入摻雜和退火激活的實驗研究*
中原位摻雜和離子注入是Ge材料常用的兩種摻雜手段．原位摻雜雖然引入的位錯比離子注入的低，但是原位摻雜對生長的條件要求比較苛刻，不易獲得高摻雜濃度，且不易形成平整的表面；對于離子注入方法，如何在鍺中形成高的n型雜質激活濃度及n型淺結，同時避免摻雜損耗仍是目前研究的重點及難點．近年來，實驗上也通過采取不同的退火激活條件來改善摻雜原子的擴散問題[4-6]．目前對于n型摻雜原子的激活，主要有兩種退火方式：快速熱退火及激光退火．由于激光退火的退火時間很短，只有幾個納
材料研究與應用 2019年4期2019-02-27
- 低能離子注入介導的異常漢遜酵母菌基因組重復序列的突變研究?
0 引言低能離子注入到生物細胞內，可參與細胞的生理、生化反應，并影響生物的進化，其相互作用是一個極為復雜的物理學、化學和生物學過程[1,2]．低能離子注入生命體的方法和技術已廣泛應用于植物和微生物的品種改良、生命起源與進化、環境輻射與防護以及人類健康等領域[3?8]．重復序列是真核生物基因組中的重要組成部分，主要分為串聯重復序列和散在重復序列兩類[9]．基因組中的串聯重復序列包括衛星DNA[10]、小衛星DNA[11]和微衛星DNA[12]．其中，微衛星D
新疆大學學報(自然科學版)（中英文） 2018年4期2018-11-16
- 等離子體基低能氮離子注入金屬鈦的耐點蝕性能
光表面處理、離子注入等表面改性技術相繼用以提高其耐磨性能[1- 5].作為一種新型的低溫、低壓表面改性方法，等離子體基低能氮離子注入技術可在金屬表面形成高氮面心相或化合物，從而使其具有耐磨損腐蝕復合性能[6- 8]，對鈦及其鈦合金進行氮離子注入表面改性可以顯著提高它的耐磨性[9]，但是關于表面改性層的耐點蝕性能的研究較少.本文采用等離子體基低能氮離子注入技術對純Ti試樣在700℃進行表面滲氮處理，時間為4 h，同時采用電化學交流阻抗(EIS)測試技術和Zs
大連交通大學學報 2018年5期2018-10-31
- 低能離子注入對叢枝菌根真菌及其與蒺藜苜蓿共生的影響
組首先將低能離子注入技術應用于農作物的誘變育種，發現低能離子注入作為一種新的生物誘變源具有損傷輕、突變率高、突變譜廣的特點。該技術關聯度高、影響面廣，用于農作物和微生物育種取得一系列成果，是一種行之有效的誘變方法[1-4]。與此同時，低能離子注入的當代刺激效應也能夠促進微生物和植物生長，這些作用對于物種的改良都十分重要。然而，關于低能離子注入對植物根部微生物影響的研究很少，限制它的應用。叢枝菌根真菌(ArbuscularMycorrhizalfungi，A
安徽農業科學 2018年26期2018-09-19
- 采用離子注入法對鐵和鋁合金表面改性專利技術發展趨勢
文分析了采用離子注入法對金屬表面改性的國內外專利申請文獻，梳理了該領域的技術發展路線，歸納出國內外核心專利特點以及研發熱點，同時對該領域未來發展趨勢進行了預測。關鍵詞：離子注入；表面改性；核心專利中圖分類號：TG174.445 文獻標識碼：A 文章編號：1003-5168（2018）21-0055-03Patent Overview of Metal Surface Modification by Ion ImplantationYU Huize ZHAO
河南科技 2018年21期2018-09-10
- 采用離子注入法對金屬表面改性專利技術綜述
于慧澤摘要：離子注入技術屬原子級表面加工技術，其具備改性效果明顯、效率高、可控性和可操作性強、無污染等優點，在金屬材料、半導體器件、醫用抗菌等眾多領域應用廣泛。本文分析了采用離子注入法對金屬表面改性的國內外專利申請文獻，分析了該領域的專利申請量，歸納出申請人國別和應用領域分布，同時對該領域未來發展趨勢進行了預測。關鍵詞：離子注入；金屬；表面改性；核心專利中圖分類號：TG174.44 文獻標識碼：A 文章編號：1003-5168（2018）24-0052-0
河南科技 2018年24期2018-09-10
- Eu摻雜GaN薄膜的陰極熒光特性
進一步研究。離子注入是一種可精確控制摻雜濃度的方法，在本工作中，我們采用離子注入方法在GaN基質中進行了Eu離子的摻雜，退火后，Eu離子得到了活化。我們采用陰極熒光對Eu摻雜GaN的發光特性進行了表征，對其中的能量傳遞機制進行了深入分析。2 實 驗采用MOCVD方法生長的氮化鎵[0001]方向的薄膜作為Eu離子注入的基質，離子注入的能量為200 keV，注入方向與表面成10°夾角，注入劑量為1×1015atom/cm2。注入后，對樣品在常壓流動氨氣下進行了
發光學報 2018年9期2018-09-10
- 離子注入對杉木幼苗光合生理的影響
種選育周期。離子注入的生物效應最早發現于20世紀80年代，近年來隨著離子注入技術的提高，在生物材料領域特別是農業和林業領域取得了大量的成果[12]，研究發現離子注入種子、芽等材料后，不僅能提高作物的產量、品質，而且結果具有高突變率和廣突變譜的特點，是比太空輻射和放射性同位素輻射更為安全經濟的誘變新途徑。由于氮元素也是生物材料的重要組成元素，且氮離子容易獲得，因此氮離子注入是多年來主要采用的離子源；同時研究發現，同氮離子相比，鈦離子的誘變效果更佳[13-14
江西農業大學學報 2018年2期2018-05-04
- 半導體與多種異質結構的磁性與調控
磁性調控 離子注入1 材料的鐵磁性半導體材料中，要遵守兩個原則，才能選出最佳的自旋性質的材料。（1）鐵磁性因為300k的居里溫度，也就是室溫下依然具有磁性。（2）因為材料的眾多應用廣泛性所以可以作為自旋電子材料的最佳選擇，比如激光器領域，都曾使用砷化銦、砷化鎵以及砷化錳，而且比如砷化鎵也都廣泛使用在數字電子領域，紅外發光的二極管等，可見之前的研究都集中于此。兩大體系（In，Mn）As（居里溫度等于35k）和（Ga，Mn）As（居里溫度等于110），就是重
電子技術與軟件工程 2018年9期2018-02-25
- MEVVA源離子注入機控制系統的實現
改性技術通過離子注入方法改變金屬材料表面層的物理結構和化學成分，改善其耐磨性和耐腐蝕性，增加表層接觸疲勞壽命。離子注入技術具有不改變零件尺寸、注入層不會剝落以及可控性好等優點，廣泛應用于各類精密零件加工。我們曾研制了雙元素離子注入機，使工件的摩擦系數、硬度、耐腐蝕性均有顯著提高，額定壽命提高到了5.83倍[1]。為了提高注入質量和工作效率，我們又研發了更大電流的多工位雙元素離子注入機，并使用可編程控制器和上位組態軟件來實現自動化控制、實時監控和數據存儲。雙
制造業自動化 2017年9期2018-01-18
- 離子注入對杉木種子發芽質量及保護酶活性的影響
間［47］。離子注入作為一種新的育種手段，跟航天育種相比具有成本低、效率高的優點，近年來得到了廣泛的應用，并在農作物及林木育種上取得了一定的成功［811］。將離子注入杉木的研究表明，離子注入對杉木苗木生長具有明顯的促進作用，但對于杉木種子發芽及發芽生理的研究未見報道，以杉木種子為試材，探索不同離子注入處理對種子發芽率及種子萌發過程中生理酶活性的影響，其結果為杉木良種選育及遺傳改良提供了新的途徑。1 材料與方法1.1 實驗材料杉木種子采自湖南攸縣2代杉木種子
種子 2017年9期2018-01-17
- 埋氧離子注入對P型部分耗盡SOI電學與低頻噪聲的影響
640）埋氧離子注入對P型部分耗盡SOI電學與低頻噪聲的影響陳海波1，劉 遠2,3，吳建偉1，恩云飛2（1.中國電子科技集團公司第五十八研究所，江蘇無錫214072；2.工業和信息化部電子第五研究所電子元器件可靠性物理及其應用技術國家重點實驗室，廣州510610；3.華南理工大學微電子學院，廣州510640）針對抗輻照SOIPMOS器件的直流特性與低頻噪聲特性展開試驗與理論研究，分析離子注入工藝對PMOS器件電學性能的影響，并預測其穩定性的變化。首先，對離
電子與封裝 2017年10期2017-10-24
- 離子注入不動桿菌的降解特性
行誘變，測量離子注入前后不動桿菌對石油烴的降解率，并研究其降解能力和降解機理。[結果]當N+的注入能量和注入劑量分別為15 keV和8.0×1015 ions/cm2時，不動桿菌的降解率可提高至95.03%；利用該注入參數對出發菌種a8進行3次連續誘變后，獲得1株能有效降解59種烷烴的突變菌株AQ-15；結合分子生物學技術，對AQ-15降解長鏈石油烷烴的酶AlmA基因進行分析，發現酶結合位點之一的47th氨基酸由原來的天冬氨酸（Asp，D）變為甘氨酸（Gl
安徽農業科學 2017年7期2017-08-13
- 鐘表行業先進離子鍍膜技術發展趨勢
離子鍍技術、離子注入化學沉積技術、離子注入與磁過濾復合技術和高功率磁控濺射技術四大新興先進離子鍍膜技術的技術工藝特點及其在鐘表行業和表面處理改性行業內的應用前景。關鍵詞：鐘表；離子鍍；磁過濾；離子注入；鍍膜1 概述現代鐘表產品愈加青睞新材質的應用與設計，這也是現代鐘表產品順應市場需求和客戶體驗的直觀表現。不銹鋼表面納米薄膜涂層具有低摩擦、高耐磨、高耐蝕和高生物相容性等技術特點，因此在國外中高端手表產品已廣泛應用。然而，當前鐘表行業廣泛采用的離子鍍膜材料所面
科技創新與應用 2017年8期2017-04-26
- Gd離子注入對固溶態Mg-Nd-Sr-Zr合金生物腐蝕行為的影響
董強勝?Gd離子注入對固溶態Mg-Nd-Sr-Zr合金生物腐蝕行為的影響陶學偉1, 2，王章忠1, 2，章曉波1, 2，巴志新1, 2，董強勝1, 2(1. 南京工程學院材料工程學院，南京211167；2. 南京工程學院江蘇省先進結構材料與應用技術重點實驗室，南京211167)對固溶態Mg-Nd-Sr-Zr合金進行了釓(Gd)離子注入改性處理；采用SRIM 2008軟件對Gd離子注入過程進行了模擬分析；采用光學顯微鏡(OM)觀察了鎂合金的顯微組織，并利用X
中國有色金屬學報 2016年11期2016-12-13
- 氮離子注入表面改性PBO薄膜及其性能
0237）氮離子注入表面改性PBO薄膜及其性能涂先兵， 徐雨強， 林家豪， 季已捷， 莊啟昕 （華東理工大學材料科學與工程學院，特種功能高分子材料及相關技術教育部重點實驗室，上海200237）利用70 ke V能量的氮離子對聚苯并二噁唑（PBO）薄膜進行常溫下離子注入表面改性，注入劑量（每平方厘米注入的氮離子數）從1×1015N+/cm2到5×1016N+/cm2。采用紅外（FTIR）、拉曼（Raman）、光電子能譜（XPS）及原子力顯微鏡（AFM）對其表
功能高分子學報 2016年2期2016-10-26
- 離子注入技術在n型電池p-n結制備中的應用
張治 郭靈山離子注入技術在n型電池p-n結制備中的應用黃河水電光伏產業技術有限公司■ 鄭璐*何鳳琴 盧剛 張治 郭靈山介紹了離子注入制備n型電池p-n結的工藝原理及工藝特點，通過對n型硅片和p+發射極主要參數進行模擬分析，得到高效n型電池性能參數的范圍及趨勢；并對比不同離子注入劑量對n型電池p-n結方阻、implied Voc及J0e的影響，確定了制備高質量n型電池p-n結的離子注入劑量。離子注入；n型硅片；n型電池；p-n結0 引言隨著全球能源消費的不斷
太陽能 2016年7期2016-09-23
- Mo離子注入對純銅表面納米層穩定性的影響
44)?Mo離子注入對純銅表面納米層穩定性的影響郗旸1，張淇萱1，李才巨1，譚軍1，朱心昆1，王剛2，易健宏1(1 昆明理工大學 材料科學與工程學院，昆明 650093；2 上海大學 微觀結構實驗室，上海 200444)采用表面機械研磨處理(SMAT)對純銅進行表面改性，通過金屬蒸汽真空弧離子注入技術在納米表層注入Mo離子。利用光學顯微鏡(OM)、X射線衍射分析儀(XRD)和掃描電鏡(SEM)觀察SMAT處理效果，表面存在納米層和變形層，通過原子力顯微鏡(
材料工程 2016年8期2016-09-02
- 平行束磁透鏡的研究
11）摘要：離子注入機單純的靜電掃描造成注入角度的不一，已經不能滿足器件性能的一致性要求，所以產生平行的離子束就很重要，為此介紹一種均勻磁場下的平行束磁透鏡，可以產生近似平行的離子束；獲得離子束的平行度小于0.43°，滿足大規模集成電路制造生產線的使用要求。關鍵詞：磁透鏡；平行束；離子注入離子注入是現代集成電路制造中的一種非常重要的技術。離子注入的工藝要求主要包括：均勻性、可重復性、能量純度、注入角度準確性、雜質污染等。注入角度準確性是衡量注入工藝質量的一
電子工業專用設備 2016年7期2016-08-05
- Ti離子注入SiO2合成TiO2納米顆粒及其光學性質
75）?Ti離子注入SiO2合成TiO2納米顆粒及其光學性質劉曉雨1穆曉宇1賈光一1劉昌龍1,2,31（天津大學理學院 天津 300072） 2（天津市低維功能材料物理與制備技術重點實驗室 天津 300072） 3（北京師范大學射線束與材料改性教育部重點實驗室 北京 100875）摘要將105 keV的Ti離子注入到SiO2玻璃至1′1017、2′1017cm?2，并在氧氣氣氛下進行熱處理，借助紫外可見分光光度計、掠入射X射線衍射光譜儀、透射電子顯微鏡、原
輻射研究與輻射工藝學報 2016年2期2016-05-13
- 離子注入機的輻射防護措施在環評與驗收階段的可行性分析
可新1 概述離子注入機是通過控制不同離子的注入來實現不同離子與物質的作用從而改變材料成份的儀器。某大學能源學院由于科研需要，擬在學院二樓的靜電實驗室新建一座離子注入機，由學校自籌資金從美國國家靜電公司（NEC）定制一臺高能、中束流型離子注入機，用于輻照環境下材料的輻照損傷模擬實驗。離子注入機的使用在國內尚未大范圍普及，而此臺離子注入機還是定制的。因此，該機構在離子注入機安裝前進行了環境影響評價預測，安裝試運行后進行驗收監測。設備在試運行的驗收階段，根據實際
海峽科學 2016年6期2016-02-08
- 離子注入技術與設備常見故障分析
50051)離子注入技術與設備常見故障分析曹健(中國電子科技集團公司第十三研究所，河北石家莊050051)介紹了離子注入技術的特點及其原理，在分析介紹其設備種類的基礎上，簡要概述了離子注入設備的基本結構，詳細分析了影響注入工藝的各種因素，根據多年的設備維護經驗，總結歸納了離子注入機的常見故障，并提出了各種故障的處理措施。離子注入；離子束；束流；聚焦與掃描離子注入是現代集成電路制造中的一種非常重要的摻雜技術，它以離子加速的方式將摻雜元素注入到半導體晶片內部，
電子工業專用設備 2015年5期2015-07-18
- 硬質合金表面改性研究現狀與展望
面涂層技術、離子注入技術、載能束輻照技術等表面改性技術在硬質合金表面強化方面的研究現狀，并展望了硬質合金表面改性技術的發展趨勢。[關鍵詞]硬質合金；表面改性；表面涂層；離子注入；載能束輻照技術[文章編號]1673-2944(2015)03-0008-06[中圖分類號]TG142收稿日期：2014-12-12基金項目：陜西省教育廳科學研究計劃項目(14JK1149)；陜西理工學院科研基金資助項目(SLGQD14-12)作者簡介：張鋒剛(1982—)，男，陜西
陜西理工大學學報(自然科學版) 2015年3期2015-04-10
- 平面PN結InSb紅外焦平面探測器的研究
究了基于Be離子注入技術的平面型和Cd擴散技術的臺面型銻化銦紅外焦平面陣列(IRFPA)探測器芯片工藝流程。并進行了芯片I-V、成像結果等對比測試,Be離子注入平面型器件和擴散臺面型芯片的性能水平相當,具備一定的工程應用水平。銻化銦,離子注入,紅外焦平面陣列探測器,平面結1 引 言InSb焦平面紅外探測器技術在近20年以來取得了飛速發展,已經進入了成熟應用期,目前正向著高分辨率、小尺寸、數字化等方向發展[1-4]。在器件結構上通常采用臺面型和平面型兩種方式
激光與紅外 2015年7期2015-04-06
- 上海微系統所在層數可控石墨烯薄膜制備方面獲進展
體系，并利用離子注入技術引入碳源，通過精確控制注入碳的劑量，成功實現了對石墨烯層數的調控。研究人員圍繞石墨烯層數的控制問題，結合Ni和Cu在化學氣相沉積（CVD）法中制備石墨烯的特點，利用2種材料對碳溶解能力的不同，設計了Ni/Cu體系（即在25μm厚的Cu箔上電子束蒸發1層 300nm的Ni），并利用半導體產業中成熟的離子注入技術將碳離子注入到Ni/Cu體系中的Ni層中，通過控制注入碳離子的劑量（即4×1015個原子/cm2劑量對應單層石墨烯，8×101
軍民兩用技術與產品 2015年15期2015-03-09
- 離子注入表面改性
離子注入屬于物理氣相沉積范圍，是將所需物質的離子在電場中加速后高速轟擊工件表面，并使之注入工件表面一定深度的真空處理工藝。離子注入將引起材料表層成分和結構發生變化，以及原子環境和電子組態等微觀狀態的擾動，因而導致了材料的各種物理、化學和力學性能的變化。離子注入表面改性特征如下:1)采用離子注入法可能獲得不同于平衡結構的特殊物質，是開發新型材料的非常獨特的方法。2)離子注入溫度和注入后的溫度可以任意控制，且在真空中進行，不發生氧化，不變形，不產生退火軟化現象
制造技術與機床 2015年3期2015-01-27
- 離子注入技術在高效晶硅太陽電池中的應用
情況等方面對離子注入技術進行分析。圖2 晶硅太陽電池的效率損失機理圖1 離子注入工藝原理當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低，并最終停留在固體材料中，這一現象稱為離子注入[4]。在硅片中注入相應的雜質原子(如硼、磷、砷等)，可改變其表面電導率或形成p-n結。常規晶硅電池通過高溫擴散的方式制備p-n結。高溫擴散是熱化學反應和熱擴散運動的結合，p-n結質量受化學結合力、擴散系數和材料固溶度等因素的限制，且長時間的高溫過程會對
太陽能 2014年5期2014-05-12
- 批處理離子注入機臺錐角效應及注入角度對產品的影響
03）批處理離子注入機臺錐角效應及注入角度對產品的影響朱紅波1，周祖源2，何永根2，秦宏志1（1. 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司，北京 100176；2. 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司，上海 201203）研究主要聚焦在批處理離子注入機臺的溝道效應和錐角效應，以及闡述由于這些效應導致的晶圓片上的均勻性問題和產品上的良率損失。對于高能量離子注入，如果離子注入角度設定為0°會導致嚴重的溝道效應，但是大角度設定又會導致光刻膠的陰影效應，所以對于注
電子與封裝 2014年12期2014-03-22
- 離子注入對傘樹種子發芽的影響
和Ti 2種離子注入的不同處理，測定其發芽率的變化，從而探索離子注入與傘樹種子發芽率之間的關系，為栽培實踐提供參考。1 材料與方法1.1 材 料傘樹種子(采自埃塞俄比亞)、細河沙、珍珠巖、紅土。1.2 儀 器LZD-1000型離子注入機(成都同創材料表面新技術工程中心)、恒溫培養箱、培養皿等。1.3 方 法1.3.1 離子注入離子注入試驗在中南林業科技大學離子注入實驗室進行。選取大小一致、顆粒飽滿的傘樹種子，用LZD-1000型離子注入機進行處理。注入能量
經濟林研究 2014年2期2014-01-22
- 離子注入對傘樹幼苗葉綠素含量的影響
測定N和Ti離子注入的不同處理中傘樹幼苗葉綠素含量的變化，研究離子注入與傘樹葉綠素含量之間的變化關系，旨在為生產實踐提供參考。1 材料與方法1.1 試驗材料傘樹種子(采自埃塞俄比亞)、80％丙酮、石英砂、碳酸鈣粉。1.2 試驗儀器LZD-1000型離子注入機(成都同創材料表面新技)、755型紫外可見光光度計、電子天平(感量0.01g)、研缽、棕色容量瓶、小漏斗、定量濾紙、吸水紙、擦鏡紙、滴管等。1.3 試驗方法1.3.1 試驗材料的處理離子注入處理在中南林
經濟林研究 2014年1期2014-01-19
- 高能氧離子注入LN晶體光波導的色心形成
薄膜沉積以及離子注入等。離子注入法對襯底材料結構的選擇性較低，可在光學晶體、玻璃等光學材料上形成了光波導，成為制備光波導的有效手段。由于材料的吸收、散射，在波導內傳播的光的強度會逐漸減弱，即波導材料的吸收損耗。這主要由導波層、包層和襯底對于導模的吸收引起，是材料中雜質離子的吸收、色心以及材料的本征吸收。吸收損耗與波導的各層材料的缺陷有關，包括體材料缺陷與波導制備過程中引入的缺陷，這些缺陷會導致光在波導傳播過程中的散射引起的損失[1]。注入離子與材料中的電子
核技術 2012年5期2012-10-16
- Ta離子注入Ti6Al4V合金的抗腐蝕性能
是膜基結合。離子注入對解決這一問題有獨特優勢，注入元素與基體溶為一體，不形成新界面，不存在膜脫落問題。能在原子級范圍內調整材料表面的成分和結構，從而精確控制材料表面和界面特性。Steve等[10–13]用 Y、Rh、Hf、Pt、Pd、Ir、Au離子注入改善 Ti6A14V的耐腐蝕性，但仍存在非完全生物相容性的問題。鉭有很好的生物相容性，尤其是優良的血液相容性，具有優異的化學穩定性與抗生理腐蝕性，成為制作外科植入物的理想材料[14,15]。但價格昂貴，廣泛應
核技術 2012年2期2012-10-16
- N+離子注入對辣椒生長特性的影響
032）N+離子注入對辣椒生長特性的影響蔡長龍，梁海鋒，馬睿，嚴一心（西安工業大學離子束生物工程與生物多樣性研究中心，710032）采用生物改性離子注入設備對辣椒干種子進行了N+離子注入，研究了N+離子注入工藝參數及其對辣椒種子出苗時間、生長特性的影響。試驗結果表明，離子注入能量和注入劑量是影響辣椒種子出苗時間的重要工藝參數，并且對辣椒后期的生長特性如莖高、葉片大小及外形有重要影響，另外，研究獲得了使辣椒產生變異的基本工藝參數及其變化規律。N+離子注入；辣
長江蔬菜 2012年20期2012-03-29
- Co離子注入對ZnO納米棒物理性質的影響
011)Co離子注入對ZnO納米棒物理性質的影響呂 健，許 磊(華北水利水電學院 數學與信息科學學院 河南 鄭州 450011)采用離子注入方法對ZnO納米棒陣列進行Co離子摻雜，對比分析未摻雜的和Co離子注入后的微觀結構的變化．通過室溫光致發光測試比較發現兩類樣品具有顯著不同的結果，分析得出與離子注入后氧空位缺陷的增加有關．同時磁學性能的測試結果表明富含氧空位缺陷的摻雜后的樣品有利于實現鐵磁性．氧化鋅； 光致發光； 鐵磁性0 引言Ⅱ-Ⅵ族重要的氧化物半導
鄭州大學學報（理學版） 2011年3期2011-12-02
- 子蓮種子離子注入誘變效應的初步觀察
所）子蓮種子離子注入誘變效應的初步觀察唐記平1，楊良波2，鄒東旺1，劉凰1，徐金星2，歐陽冬梅1，劉春華2，謝克強1（1.江西廣昌縣白蓮產業發展局，344900；2.廣昌縣白蓮科學研究所）自2000年以來，江西省廣昌白蓮科研所多次開展子蓮離子注入誘變育種試驗，以第3次離子注入試驗為背景，以京廣1號、風卷紅旗、太空蓮36號3個品種的313粒種子為誘變對象，對用離子束誘變育種中出現的變異和生物效應進行了初步觀察。試驗結果表明，離子注入對子蓮種子萌發、胚芽生長和
長江蔬菜 2011年16期2011-03-22
- 第十一屆等離子基離子注入與沉積國際會議征稿通知
一屆等離子基離子注入與沉積國際會議(The 11th International Workshop on Plasma-based Ion Implantation & Deposition, PBII&D 2011)將于2011年9月8～12日在黑龍江省哈爾濱市舉行，同時舉行產品展覽。歡迎大家積極投稿，同時歡迎各參展單位聯系展覽。會議組織單位為哈爾濱工業大學和先進焊接與連接國家重點實驗室等。會議的主要內容包括：等離子基離子注入與沉積（PBII&D）；高功
中國有色金屬學報 2011年3期2011-02-14
- 氦離子注入對Ti6Al4V合金組織和力學性能的影響
4109)氦離子注入對Ti6Al4V合金組織和力學性能的影響陳善華1,吳 勇2,G.Schumacher3(1成都理工大學材料與化學化工學院,成都610059;2成都理工大學地質災害防治與地質環境保護國家重點實驗室,成都610059; 3亥姆霍茲材料與能源研究中心,德國柏林14109)在室溫和400～700℃條件下,采用1×1017ions/cm2注入劑量和200keV加速電壓對Ti6Al4V合金進行了氦離子注入。分別采用納米硬度儀和X射線衍射方法對Ti6
材料工程 2010年5期2010-09-04
- 離子注入結合航天搭載對蓮的誘變效應
合作，開展了離子注入結合航天搭載誘變育種試驗，并獲得一些有益變異，試驗結果如下。1 材料與方法1.1 試驗材料搭載材料有完全成熟的蓮種子（包括子蓮、花蓮品種及育種單株種子）或進行離子束注射預處理種子，共計20個樣品材料，314粒種子，其中有16個處理的168粒種子，在2004年春由北師大核物理所進行離子注入預處理，處理品種及劑量見表1。1.2 試驗方法2004年9月27日將上述種子搭載我國第20顆返回式衛星，在軌道運行18 d，種子回收后常溫保存。2005
長江蔬菜 2010年14期2010-06-19
- 國產65nm大角度離子注入機進入晶圓生產線
5nm大角度離子注入機進入中芯國際 (北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產線的技術測試與器件工藝檢驗，為這一國產集成電路制造裝備實現重大技術跨越作最后的沖刺。據了解，這是國產高端離子注入機首次進入300mm主流生產線，表明國內的離子注入機研制已經逐步達到世界主流技術水平。北京中科信公司研制的65 nm大角度離子注入機以滿足大規模生產線65nm制程工藝需求為目標，以提升產品工藝性能、整機可靠性及降低成本消耗為設計理念。在不到兩年的時間里，北京中科
電子工業專用設備 2010年11期2010-04-04
- 離子注入技術及其在籽蓮育種上的應用研究
物理研究所）離子注入技術及其在籽蓮育種上的應用研究劉凰 鄒東旺 唐記平 劉春華 張香蓮 楊良波 徐金星 謝克強 蘇穎 張濤（1.廣昌縣白蓮科學研究所，江西廣昌，344900；2.北京師范大學低能核物理研究所）簡要介紹了離子注入的方法、作用機理及特點，并利用離子注入籽蓮種子為誘變源，分析了用離子束誘變育種中出現的變異和生物效應，初步探討了籽蓮通過離子誘變處理獲得改良新品種（系）的方法，并對選育的籽蓮品種進行了簡述。離子注入 籽蓮 生物學效應 品種改良離子注入
長江蔬菜 2009年16期2009-04-06