對準
- 半導體制造領域的晶圓預對準系統綜述
環節中需要晶圓預對準系統對晶圓中心進行對準。伴隨著新技術的應用，晶圓預對準系統從傳統的機械式不斷發展出基于視覺的晶圓預對準系統以及光電式晶圓預對準系統。1 機械式晶圓預對準系統機械式晶圓預對準結構主要依靠機械結構推擠晶圓的邊緣，實現晶圓對準。圖1為夾持式機械預對準系統[1]，通過夾持氣缸兩側的輸出端分別連接對中塊，兩側的對中塊上分別均布有多個柱塞彈簧對中組件，實現對中央吸盤上的晶圓進行對中操作。圖1 夾持式機械預對準系統圖2為一種依靠滾珠運動推動晶圓邊緣對
科學與信息化 2023年1期2023-01-31
- 一種基于回溯過程的里程計輔助SINS 初始對準方法
駛過程中完成初始對準，因此行進間對準已經成為了一個備受關注的問題。通常使用的外部導航傳感器包括全球定位系統（Global Positioning System,GPS）、里程計（Odometer,OD）等，它們用來為SINS 的行進間對準提供輔助信息。GPS 的信號易受干擾，同時在掩蔽環境中無法使用。而OD 可以獨立自主地測量車輛路程增量，以此為觀測信息完成SINS 陸上對準。因此，陸用定位定向系統中使用基于OD 輔助的SINS 行進間初始對準，增強了陸用
中國慣性技術學報 2022年6期2023-01-29
- NIKON NSR 步進重復光刻機對準原理及典型故障修復
辨率；而光刻機的對準系統，就決定了不同層曝光工藝的套準精度。不同廠家，不同型號的光刻機，對準系統的工作原理大致相近，最終都是實現掩模版與圓片之間特定標記的對準。本文以NIKON NSR 步進重復光刻機為參考，論述了對準系統工作原理，包括掩模版對準和圓片對準，并列舉了常見的對準方面的設備故障及解決方法。1 對準流程NIKON NSR 步進重復光刻機采用的是分開對準的方式，先進行掩模版對準，后進行圓片對準（如圖1 所示）。曝光工藝開始后，掩模版被傳送至預對準模
電子工業專用設備 2022年1期2022-07-13
- 偽慣導建模的極區雙速度模式慣性系對準算法
。然而,極區初始對準仍是一個亟待解決的問題。捷聯慣性導航系統(strapdown inertial navigation system,SINS)初始對準通常分為兩步完成:粗對準和精對準。粗對準是粗略獲取載體的初始姿態矩陣,為接下來的精對準提供初始條件。高精度的粗對準可以為精對準提供一個更好的初始條件,保證精對準階段的對準性能以及可靠性?；诰仃嚪纸獾膽T性系初始對準算法是一種常用的SINS粗對準算法,其在抑制外界干擾、對準快速性等方面的特別優勢,國內外已經
系統工程與電子技術 2022年5期2022-05-07
- 基于多軸對準定位平臺提升LDI機生產效率的探討
提高了工作效率和對準精度[3][4]。LDI技術是一種不采用光刻掩膜版的光刻技術，將設計的圖形通過LDI技術掃描到需要制備的曝光基板上，從而省去光掩膜版的制備，目前經過三十多年的技術積累，LDI經歷了三次技術迭代更新，在印制電路板（PCB）行業正逐漸替代傳統曝光機[5]。LDI機結合高精度對準定位平臺和先進的圖形處理系統[6]，將基板放置于工作吸盤上，移動工作吸盤到基板對位點位置，使用對準測量系統采集對位點圖像信息，量測并計算基板位置關系，再利用軟件算法系
印制電路信息 2022年12期2022-02-08
- 基于視覺技術的復雜空間裝配中的精細對孔
孔之間需要在孔位對準后用螺絲固定，針對這一問題，設計實現了一種精細對孔方法。該方法從安裝孔視頻流中定時讀取一幀圖像，在對圖像進行濾波去噪、邊緣檢測等操作后，采用最小二乘法檢測安裝孔圓心坐標信息，根據安裝孔之間的圓心距判斷安裝孔是否對準。實驗在0.062 5 mm的標定精度下，Hough圓變換和最小二乘法的圓心距檢測結果分別是0.125 mm和0.06 mm。實驗結果表明，在高精度的標定結果下，相比較Hough圓變換，最小二乘法能夠更好地檢測到安裝孔的圓心坐
智能計算機與應用 2021年7期2021-12-07
- 自航式誘餌捷聯慣性系統初始對準難點及方案
學平臺必須準確地對準和跟蹤導航坐標系，以避免導航控制參數產生誤差。對于剛加電啟動工作的誘餌捷聯慣性系統，數學平臺尚未確定，三軸指向隨機，不一定在水平面內，沒有確定方位，故捷聯慣性系統在進入導航工作狀態前，需進行初始對準，在較短時間內使數學平臺調整到導航坐標系內，也就是要在一定精度內確定出從雷體坐標系到導航坐標系的初始變換矩陣[1]，完成初始初始對準。同裝甲火控捷聯系統一樣，基于誘餌快速反應發射要求，其捷聯慣性系統初始對準必須在較短時間內完成。同時，由于初始
科技與創新 2021年24期2021-11-27
- 基于捷聯慣導系統的車載導彈動態快速對準技術
載慣導系統的初始對準占據了發射準備的大部分時間。慣導系統的初始對準是指在系統進入導航工作前必須確定慣導系統慣性測量單元(Inertial Measurement Unit，IMU)載體系和地理系的初始姿態矩陣[1-2]。慣導系統初始對準要求用盡可能少的耗時精確地給出載體系到導航系的初始姿態矩陣，為隨后的姿態更新提供初始條件。因此，通過縮短慣導初始對準時間以快速完成導彈的發射準備對提高導彈武器系統的生存概率具有重要的意義[3-6]。動態快速對準是縮短慣導系統
導航與控制 2021年3期2021-09-04
- 一種船舶漂浮狀態下捷聯慣導快速自對準方法
用捷聯系統的初始對準對船舶的機動性起著重要的作用。對于初始對準問題，不僅要求對準達到一定的精度，還要求其具有快速性。一般的初始對準的收斂主要是方位失準角的收斂，在粗對準階段或者精對準階段采用優化的算法加快方位失準角的收斂。傳統的粗對準方案是利用重力和地球自轉角速度在地理坐標系和載體坐標系下的投影不同推算出來的。文獻[1]提出了新的粗對準算法——凝固對準法，即通過觀測不同時刻重力加速度在不同坐標系中的積分矢量計算初始姿態矩陣。近年來以凝固對準法為基礎，不斷出
中國慣性技術學報 2021年1期2021-05-27
- PDMS微流控芯片光刻加工的套刻對準方法
刻成型的圖像進行對準，以保證每一層圖形有精確的相對位置，此為套刻［8-9］。套刻精度是光刻的重要技術指標，光刻機英文名稱即為掩膜對準曝光機（Mask aligner）［10-11］。在廣泛使用低端光刻機進行的微流控芯片套刻加工制作中，套刻精度對操作工藝的依賴性更大。受高分子材料PDMS（聚二甲基硅氧烷）有伸縮性［12］及設備、顯影工序等因素［13-14］的影響，PDMS 微流控芯片套刻加工對準精度要求相對不高［7］，目前，系統的針對微流控芯片套刻對準工藝的
實驗室研究與探索 2021年12期2021-03-01
- 基于DSP的捷聯慣導系統組合初始對準算法設計?
外慣性導航的初始對準關系到導航的精度和使用前的準備時間，初始對準誤差會隨著導航解算過程進行累積，制約著導航的精度［2～6］?；诖吮疚耐ㄟ^TMS320F28335 高速 DSP［7～8］完成導航系統初始對準工作，采用慣性系粗對準和卡爾曼精對準完成初始對準，通過設計軟件程序設計等步驟流程驗證算法的可行性。2 捷聯慣導組合初始對準技術捷聯慣性導航系統的初始對準是系統正常進入導航解算階段的必要前提。初始對準分為粗對準和精對準兩個階段，對準過程中首先利用粗對準在短
艦船電子工程 2020年7期2020-09-28
- 基于正逆向解算的單軸旋轉慣導參數辨識方法
果。而在慣導系統對準過程中，對準精度需要更長的對準時間來保證。為了縮短對準時間并提高對準精度，且能夠辨識出z向旋轉軸陀螺漂移，本文提出了一種適用于靜基座條件下的參數快速辨識方法，該方法基于時間正逆向解算算法[3-4]，通過建立開路法航向角誤差模型，增加航向角量測量，利用最小二乘算法實現了初始姿態的確立和z向陀螺漂移的估計。1 參數辨識對準算法1.1 慣性系坐標系定義1) 慣性坐標系(i系，OXiYiZi)。原點位于地心的慣性空間。2) 地球坐標系(e系，O
壓電與聲光 2020年4期2020-09-03
- 基于正逆向導航解算的捷聯羅經動基座對準研究
言羅經系統典型的對準方法有解析對準和羅經法對準[1-4]。羅經法初始對準是利用羅經原理基于控制反饋的自主式對準方法[5]。羅經法對準不需要精確的數學模型和噪聲模型，并且具有自主性強、精度高和航向誤差不隨時間積累等特點[6]。捷聯羅經初始對準是基于羅經效應通過控制算法完成閉環調節的過程，對準算法的精確性和快速性是相互制約的。隨著光纖陀螺、激光陀螺和加速度計等慣性器件的日益成熟完善，為捷聯羅經初始對準研究增加了新的活力[7]，最終使精度得到了很大提高，而快速性
導航定位與授時 2020年3期2020-06-08
- 一種羅經方位對準的參數設置方法
為慣導系統的初始對準。在眾多的初始對準方法中，羅經對準方法參數設置簡單、易于實現、計算量較小，是捷聯慣性導航系統初始對準技術的研究熱點。近些年，有關羅經對準的相關研究較多，如文獻[1]研究了旋轉調制的羅經對準，通過旋轉調制將陀螺常值漂移變換成正弦信號，再通過合理設置相關參數將其濾除，進而消除對對準精度的影響。文獻[2]分析了隨機游走對羅經方位對準的影響，并推導出了誤差方差公式。文獻[3]研究了姿態逆向解算的羅經對準。文獻[4]研究了羅經方位對準的收斂時間，
沈陽理工大學學報 2020年6期2020-05-14
- 慣性系姿態確定的SINS晃動基座初始對準算法
)的晃動基座初始對準時，載體的位置幾乎不會發生變化，而其角運動可以近似看作是低頻周期的搖擺運動，從而使得慣性測量單元(Inertial Measurement Unit，IMU)中陀螺儀輸出的信噪比很低，故采用傳統解析粗對準算法將無法完成捷聯慣導系統(Strapdown Inertial Navigation System，SINS)的初始對準過程[1-2]。由于其抗干擾能力較弱，傳統解析粗對準方法通常僅適用于靜基座初始對準。為了解決傳統解析粗對準無法完成
導航定位與授時 2020年2期2020-03-19
- 杭州印象（一）
子空濛，我將鏡頭對準半鎖湖山的云氣，前景中景遠景，看不到你在我的鏡頭里。我將鏡頭對準湖畔的小路，西湖的花徑還是那樣美麗，卻沒看見你邁出拐角的亭子。我將鏡頭對準曲院風荷的長椅，長椅對著空空風景與圍籬，看不到你出現在鏡頭的任何位置。我將鏡頭對準長長的蘇堤，柳浪依然婀娜荷葉連天碧，獨不見你在堤上聞那荷香、聽脆脆的鶯啼。我將鏡頭對準高高的雷峰塔，塔影融在疊嶂屏峰靜靜的水面，卻沒看見你掄起撞鐘的杵走進長長的扶梯。我將鏡頭對準靈隱寺，佛還在人已非，更不見你捻香向菩提。
杭州 2019年28期2019-09-10
- 晃動基座下正向-正向回溯初始對準方法
通常需要進行初始對準過程，以實現初始姿態角的獲取。當前常用的初始對準過程可以分為“粗對準+精對準”模式以及非線性濾波的大方位失準角初始對準模型[5-8]。文獻[9]提出了一種七階正交容積卡爾曼濾波(Cubature quadrature kalman filter,CQKF)算法，實現了SINS大失準角初始對準。然而，采用非線性濾波方法進行大失準角條件下的初始對準時，會導致計算量大、濾波不穩定、收斂速度慢等問題，使得其在工程應用中受到限制[10]。因此，大
宇航學報 2019年8期2019-09-06
- 箭載SINS快速自對準技術
NS）逐漸采用自對準技術替代傳統水平對準＋光瞄方案。運載火箭一般依托塔架豎立發射，初始自對準采用凝固慣性系粗對準［1］＋Kalman濾波精對準方案［2］。粗對準僅進行一次運算，為精對準提供初始姿態。在靜基座條件下，慣導系統可觀測性弱，Kalman濾波器方位通道收斂緩慢［3］。為滿足火箭快速發射的背景需求，需要提升自對準快速性。文獻［4］提出了一種利用逆向導航技術進行旋轉自對準的方法，這種方法在粗對準和精對準階段均使用了所有測試數據，在有限的對準時間內最大程
導航與控制 2019年6期2019-02-10
- 機載導彈大安裝偏差下的快速二次傳遞對準方法
1]。動基座傳遞對準技術作為空射導彈發射前諸元裝定的基礎，對準精度很大程度上決定了武器系統最終的命中精度。導彈裝載在機腹下與機載主慣導之間存在安裝偏差，通常假設為小角度（小于 3°）建立線性傳遞對準模型；然而，在緊急快速響應情況下，由于導彈安裝完成后未進行粗校準，彈載子慣導與機載主慣導之間會出現大安裝偏差情況[2-3]，在傳遞對準時直接用主慣導的速度、姿態、位置等導航信息對子慣導進行初始化這一過程引入了大失準角問題，在這種大安裝偏差情況下傳統的線性傳遞對準
中國慣性技術學報 2018年5期2018-12-20
- NSR2205I14型光刻機對準方式分析
001）0 引言對準系統是光刻機的核心部件之一，擁有更精密的對準，才能保證更精準的套刻精度。NSR2205I14設備在對準時主要分2步，首先光刻板對準，即光刻板上的對準記號通過CCD（Charge Coupled Device，電荷耦合器件）圖像傳感器與曝光臺上的基準記號對準，然后是晶圓對準，即對準系統與曝光臺上的基準記號對準后，通過晶圓上的對準記號與晶圓對準。而晶圓對準時可以使用2套不同的對準系統做對準，這2套對準系統結構不同，原理不同，優缺點各異。1
設備管理與維修 2018年11期2018-12-07
- 靜基座捷聯羅經初始對準方法
2）0 引言初始對準是捷聯慣性導航系統進行導航的前提，捷聯慣導系統的初始對準主要是提供捷聯慣導的導航解算所需要的初始姿態矩陣[1]。初始對準的結果直接影響慣性導航系統的導航精度。所以，對捷聯慣性導航系統進行初始對準是十分必要的。進行初始對準的方法很多，如多位置對準法和羅經對準法、卡爾曼濾波最優估計對準方法、傳遞對準法等[2]。其中，羅經法初始對準是平臺慣導系統(PINS)的經典對準方法[3]，羅經對準法可分為水平調平和方位對準兩個步驟，方位對準在水平調平的
現代導航 2018年5期2018-12-06
- 行進間粗對準誤差分析方法
1)0 引言初始對準是確定慣性導航系統初始的姿態、位置、速度等導航參數。按照對準過程，分為粗對準和精對準兩個階段。為提高初始對準過程中載體的機動性，要求慣性導航系統能夠在載體行駛時完成粗對準過程。針對上述問題，文獻[1]運用慣性空間為參考標準，分三步建立粗對準姿態矩陣。文獻[2—6]主要是利用里程計作為輔助測量手段，通過信息融合的方法解算姿態矩陣。文獻[7—8]將姿態矩陣的求解轉化為wahba問題，通過最優解的方法，解算姿態矩陣。上述方法對于粗對準姿態矩陣
探測與控制學報 2018年5期2018-11-02
- 嚴格逆向過程的捷聯慣導快速回溯對準
4）0 引言初始對準是慣導系統的核心技術之一，慣導系統的初始對準過程一般分為粗對準和精對準兩個階段。常用靜態粗對準方法是解析粗對準，常用的精對準方法有參數辨識法［1］、Kalman濾波法［2?3］、 羅經法［4］等， 本文研究了一種新型的參數辨識初始對準方法?？焖傩允菓T導系統初始對準的重要指標之一，為了進一步提升對準過程的快速性，一些學者在慣導系統初始對準中引入了回溯對準的概念［4?7］。文獻［4］、 文獻［5］分別在捷聯慣導和慣性/里程計組合導航系統的自
導航與控制 2018年5期2018-10-15
- 晃動基座捷聯慣導系統初始對準迭代方法
4］， 其中初始對準是慣性導航系統中的關鍵技術之一［5?6］。 在進行導航工作前，慣性導航系統必須首先進行初始對準。初始對準的精度直接影響導航精度［7?8］， 初始對準時間直接關系到系統快速反應能力，這兩項結果是衡量初始對準效果優劣的主要指標［9?10］。捷聯慣性導航系統初始對準的原理是：根據相應的敏感器件數據，通過算法實現姿態與方位角的解算［11?13］。捷聯慣導初始對準的常用算法是根據加速度計對重力加速度的測量值和陀螺對地球旋轉角速度的測量值計算出基座
導航與控制 2018年5期2018-10-15
- NSR2205I14型光刻機對準方式分析
001）0 引言對準系統是光刻機的核心部件之一，擁有更精密的對準，才能保證更精準的套刻精度。NSR2205I14設備在對準時主要分2步，首先光刻板對準，即光刻板上的對準記號通過CCD（Charge Coupled Device，電荷耦合器件）圖像傳感器與曝光臺上的基準記號對準，然后是晶圓對準，即對準系統與曝光臺上的基準記號對準后，通過晶圓上的對準記號與晶圓對準。而晶圓對準時可以使用2套不同的對準系統做對準，這2套對準系統結構不同，原理不同，優缺點各異。1
設備管理與維修 2018年6期2018-06-09
- 基于降維CKF和平滑的SINS/OD動基座對準
NS/OD動基座對準黃湘遠, 湯霞清, 武萌(裝甲兵工程學院控制工程系, 北京 100072)為了提高捷聯慣導(strapdowninertialnavigationsystem,SINS)/里程計(odometer,OD)動基座對準精度,使對準過程中具備一定精度的位置導航能力,提出了一種動基座非線性對準方法。首先對非線性系統進行簡化并應用降維容積卡爾曼濾波(reduceddimensioncubatureKalmanfilter,RD-CKF)進行非線性
系統工程與電子技術 2016年9期2016-09-07
- 機載無線激光通信對準-捕獲-跟蹤系統及動態飛行試驗研究
機載無線激光通信對準-捕獲-跟蹤系統及動態飛行試驗研究李小明1，2，張立中1，孟立新1，宋延嵩1，姜會林1 （1.空間光電技術國家地方聯合工程研究中心，吉林長春130022；2.長春理工大學光電工程學院，吉林長春130022）摘要：機載無線激光通信具有通信速率高、抗干擾能力強、保密性好、布置靈活等優點，在天地一體化高速信息網絡、軍用保密通信、電磁干擾環境下可靠通信等應用中有著廣闊前景。為解決機載環境下激光通信光軸對準難題，通過對無線激光通信系統特點和Y-1
兵工學報 2016年6期2016-07-29
- 折斷的直尺也能量長度
。他把刻度“2”對準線段的左端，此時線段的右端正好對準刻度“9”。他算了算，告訴老師：“線段長9-2=7（厘米）?！毙∠铲o的直尺也不小心折斷了，只剩下開頭的4厘米長。她先用刻度“0”對準線段的左端，并在刻度“4”對準的線段處做一個記號，然后再把直尺的刻度“0”對準記號，線段的右端正好對準刻度“3”。小喜鵲告訴老師：“線段長4+3=7（厘米）?！贝笙罄蠋煾吲d地說：“小刺猬和小喜鵲量的都正確?！?/div>
讀寫算·小學低年級 2016年7期2016-05-14
- 基于CKF和R-T-S平滑的車載SINS/OD動基座對準方案*
NS/OD動基座對準方案*黃湘遠，湯霞清，武 萌(裝甲兵工程學院控制工程系，北京 100072)為提高車載捷聯慣導/里程計組合系統的動基座對準精度、速度和位置導航精度，提出了“容積卡爾曼濾波(CKF)非線性對準+非線性R-T-S平滑+再次Kalman濾波線性對準”的方案，即首先應用CKF進行非線性對準，對準結果方位對準精度一般、位置誤差較大；接著利用R-T-S平滑獲得初始時刻高精度對準結果，此時非線性誤差模型退化為線性模型；最后再進行Kalman濾波線性對汽車工程 2016年8期2016-04-12
- 抗擾動的捷聯慣導系統回溯參數辨識對準法
系統回溯參數辨識對準法張朝飛1,2，羅建軍1,2，侯永利3（1. 西北工業大學 航天學院，西安 710072；2. 航天飛行動力學技術重點實驗室，西安 710072；3. 中國航天第十六研究所，西安 710100）針對捷聯慣導系統參數辨識對準法航向角估計時間長且收斂速度受到計算初值影響大的問題，提出了將對準用的陀螺和加速度計采樣數據存儲后按時間進行正向和逆向排列，形成正向序列和逆向序列。由正向導航的解算公式推導出逆向導航的解算公式，利用公式的一致性提出了回中國慣性技術學報 2015年6期2015-06-15
- Improved fast backtracking alignment approach for strapdown inertial navigation system
系統改進回溯快速對準方法何泓洋，許江寧，李京書，李 峰，查 峰 （海軍工程大學 導航工程系，湖北 武漢 430033）快速性是捷聯慣導系統初始對準的一項重要指標?；厮菟惴ㄍㄟ^存儲一段時間的陀螺儀和加速度計的數據，并反復加以利用的方式，有效縮短了對準的時間。為了進一步提高初始對準的快速性，設計了一種快速回溯對準方法（FBA）。優化對準方法被用于算法的粗對準階段，為回溯羅經法精對準提供較為準確的初始姿態，進而提高羅經回路的收斂速度。分析了回溯算法的基本原理，設中國慣性技術學報 2015年2期2015-06-05
- 基于羅德里格參數的線性最優估計自對準
的線性最優估計自對準梅春波1，秦永元1，楊鵬翔2(1. 西北工業大學 自動化學院，西安 710129；2. 西安現代控制技術研究所，西安710111)針對車載捷聯慣導系統怠速條件下的初始對準問題，提出了一種基于羅德里格參數的線性最優估計自對準算法。利用姿態陣分解和凱萊變換，將任意姿態下的無初值初始對準問題簡化為羅德里格參數的無約束線性最優估計問題。討論了算法的有效性，推導了算法的對準誤差公式，并設計了一種簡潔的工程實現方案。利用車載捷聯慣導系統進行了四位置中國慣性技術學報 2015年3期2015-05-23
- Multi-position alignment with arbitrary rotation axis for SINS
導系統多位置初始對準方法譚彩銘，朱欣華，王 宇，蘇 巖 （南京理工大學 機械工程學院，南京 210094）基于單軸旋轉SINS的多位置對準方法通常要求旋轉軸和方位軸重合，軸重合誤差會影響多位置對準精度。針對這一問題，提出了一種可繞任意軸旋轉的多位置初始對準方法，幾何分析指出，該旋轉軸可沿任意方向，不需要與方位軸重合，它只需繞某任意旋轉軸轉過兩個已知角度即可解算出IMU的零偏，提高對準精度。仿真實驗顯示，提出的繞任意軸旋轉的多位置對準方法相比單個位置下的解析中國慣性技術學報 2015年3期2015-05-23
- 基于逆向導航的捷聯自對準技術研究
100854初始對準技術是慣性導航的關鍵技術之一，其結果直接影響到導航系統的精度和準備時間。隨著現代戰爭對武器自主性和快速性要求的提高，研究如何提高捷聯慣導自對準精度并縮短對準時間具有重要意義［1］。目前，常規的自對準方法是按時間順序正向一次性處理，數據處理完便丟棄，不必存儲，其優點是存儲量和計算量較小，但后一階段不能使用前一階段的數據，信息挖掘不充分，造成浪費。隨著計算機技術的快速發展，若導航計算機的容量足夠大且計算能力足夠強，可對慣組數據進行存儲，然后航天控制 2015年5期2015-03-10
- 軸對準簡介
天津）恰當的軸對準，比你在潤滑以外做的每件事情都能增加軸承、密封和轉子等部件的壽命。因為旋轉設備 (例如泵、壓縮機和粉碎機等)，對零件之間的對準是非常敏感的，即使是操作條件的微小變化，未對準可能引起這些關鍵元件變得過載和過早出現故障，特別是在高速運行的情況下。所有的軸即使是低速運轉的，如果想讓軸承延續其整個預期的壽命，也必須對準到允許的誤差范圍之內。恰當的對準是決定軸承、密封和聯軸器壽命的關鍵因素。不幸的是，許多維護部門仍然認為對準僅僅是那些大的、高速軸設備管理與維修 2015年11期2015-01-01
- 改進的單軸旋轉SINS初始對準方法
］。該系統常用的對準方法有基于靜基座的古典羅經法和卡爾曼濾波法［5-8］。由于在靜基座下，捷聯慣導系統對準的極限精度受器件誤差的制約，考慮到系統本身具有轉動控制機構，為多位置對準提供了條件。因此，本文針對單軸旋轉捷聯系統，在轉臺輔助下提高對準精度的對準方法進行了詳細的分析。衡量初始對準效果的2個基本準則是:對準精度高，對準速度快［8］。在靜基座下，無論是古典羅經對準法還是卡爾曼濾波對準法，由于某些器件誤差的可觀測性較差［9-10］，導致2種對準方法對準精度哈爾濱工程大學學報 2014年8期2014-10-25
- 極點配置對SINS羅經對準性能影響
00）分析了羅經對準基本原理?；诔Ｒ姷膸追N羅經極點配置方案及其對準性能與不足，將一個二階振蕩環節和一個臨界阻尼環節相串聯，把4個極點配置在同一個圓上，得到一種新的極點配置方案。該配置方法既保證了對準算法的快速跟蹤性能，又兼顧對準精度。采用車載晃動對準數據和風擾條件下的車載導航數據，比較了不同極點配置的對準效果。試驗說明，新的極點配置方案可以跟蹤載體低頻姿態角變化，在180 s內完成SINS對準過程；該方法能夠克服大風擾動影響，提高SINS晃動基座對準精度中國慣性技術學報 2014年6期2014-10-21
- Fast alignment algorithm of inertial fixed frame in quasi-static environment
導系統動基座初始對準及其其它相關問題研究[D]. 西安：西北工業大學，2008.[4] Wu Y, Pan X. Velocity/position integration formula (I): Application to in-flight coarse alignment[J]. IEEE Transactions on Aerospace Electronics System, 2013, 49: 1006-1023.[5] Han S, Wa中國慣性技術學報 2014年4期2014-10-21
- 捷聯慣導系統雙位置快速抗干擾對準方法
雙位置快速抗干擾對準方法劉永紅1，劉明雍1，謝 波2（1.西北工業大學 航海學院，西安 710072；2.航天第十六研究所，西安 710100）經典捷聯慣導系統雙位置參數辨識精對準采用水平速度作為量測值，對部分參數辨識時間較長，且收斂速度受遞推計算初值影響。提出了一種利用單位時間的水平比力作為量測值的雙位置快速抗干擾對準方法，并忽略誤差構成的高階項，可以將三次曲線轉換為線性模型進行估計，提高了初始對準的收斂速度。雙位置對準試驗結果表明，雙位置快速抗干擾對準中國慣性技術學報 2014年3期2014-07-20
- 投影光刻中非對稱型相位光柵對準信號及對準誤差計算模型
203)相位光柵對準的方法因較其他明場或暗場讀準具備信噪比高、對準精度好等優點，因此被廣泛用于半導體投影光刻機中。參考文獻[1]詳細描述了投影光刻機中相位光柵對準系統，給出了對稱型矩形相位光柵的±1級衍射Fourier變換后的光強分布：圖1為對稱型相位光柵對準標記的形貌，式（1）中r為占空比，即相位光柵標記頂部與底部的寬度比；I0為入射光信號強度；R為對準標記光反射率；d為槽深。圖1 對稱型相位光柵對準標記的形貌透過參考光柵的±n級對準信號為：式（2）中，電子工業專用設備 2012年5期2012-06-28
- 基于CKF和R-T-S平滑的車載SINS/OD動基座對準方案*